EBARA A25S 原廠技術文件

使用手冊 多階段乾式真空幫浦 A70W (A70W-S,A70W-C) A30W (A30W-S, A30W-C) A25S (A25S-S) A10S (A10S-S) A07V (A07V-S) idealvac.com (505)872-0037 idealvac.com  在未經許可的情況下，不得重製或重新印刷本手冊的任何部分。 製造商保留隨時中止或更改任何規格或設計的權利，且無需事先通知或承擔任何義務。 所有權利保留，版權屬於 EBARA Corporation。  (i) 不得擅自複印、更改任何規格或設計，且無需事先通知，亦不承擔任何義務。 版權所有，屬 EBARA Corporation 所有。 (i) 變更紀錄 Rev. 日期 頁碼 位置 內容 原因 0 2-Jun-94 新版發行 1 13-Jul-94 5 A07V 規格 抽氣速率修正 6-10 總圖 水供應/回流 加上 NPT 14 圖 3.4 系統流量 加上說明 17 圖 4.2 聯結器 加上圖紙 21 圖 4.6 控制線路 修正 22 表 4.5 引腳分配 加上說明 2 14-Nov-96 ⅲ ,ⅳ 圖 1,2,3,4,5 安全警告 加上標籤 圖紙 警告標籤 加上 ⅴ ,ⅵ ,ⅶ 位置 3.3 名單 附加詳細 名單 4 規格 Dig. 4.4 電源供應 電路修正 21 表 4.6 DIP開關 設計變更 25 圖 4.7 S.W設定 設計變更 26 表 6.1 一般檢查 加上表格 33 項目 6.3 備件 加上名單 35,36 7 (8) 泵提升 加上說明 37 9 服務網 加上名單 44,45 A 12-Dec-97 新版發行 cal check 加入表格 33 項 6.3 備用零件加入清單 35,36 7 (8) 輸送泵吊裝加入註記 37 9 服務網加入清單 44,45 A 12-12-97 新版本發佈 根據 ECO 2905 3 20-5-99 21 表 4.2 適用電線修正 44,45 9. 服務網絡日本、台灣變更 (地址、電話、傳真) 5,6,18, ----- 單位為 ----- 27,28, 因國內 32 規範對於 測量低值的 規範而更改 3A 27-4-01 ETI 發佈 EC Rev 3 根據 ECO 5394 3B 2002 年 6 月 20 加入 UL 接地第三方 註記標記 iv 加入 LCD “熱第三方 表面”註記標記 加入附錄 SEMI S2 全文語言編輯 ECO 5771 EBARA Corporation (ii) 安全資訊 任何操作此幫浦的人員必須具備識別並避免與幫浦相關的危險狀況的知識。 魯莽的動作或操作不當可能會導致危險事故和嚴重傷害。