MP does not start when applying START button.
使用 START 按鈕時 MP 不啟動。
MP kh ô ng bắt đ ầu khi á p dụng n ú t START.
EBARA ESA 系列
MP does not start when applying START button.
使用 START 按鈕時 MP 不啟動。
MP kh ô ng bắt đ ầu khi á p dụng n ú t START.
檢查項目：Instrument failure
儀器故障
Lỗi c ô ng cụ
糾正措施：Replace instrument.
更換儀器。
Thay th ế nhạc cụ.
MP does not start when entering external “MP start” signal input.
使用 START 按鈕時 MP 不啟動。
MP kh ô ng bắt đ ầu khi á p dụng n ú t START.
EBARA ESA 系列
MP does not start when entering external “MP start” signal input.
使用 START 按鈕時 MP 不啟動。
MP kh ô ng bắt đ ầu khi á p dụng n ú t START.
檢查項目：“Local” mode has been selected.
已選擇 “ 本地 ” 模式。
Ch ế đ ộ "Địa phương" đ ã đ ược chọn.
糾正措施：Set switch to “Remote”.
將開關設置為 “ 遠程 ” 。
Set switch to “ Remote ” .
MP does not start when entering external “MP start” signal input.
使用 START 按鈕時 MP 不啟動。
MP kh ô ng bắt đ ầu khi á p dụng n ú t START.
EBARA ESA 系列
MP does not start when entering external “MP start” signal input.
使用 START 按鈕時 MP 不啟動。
MP kh ô ng bắt đ ầu khi á p dụng n ú t START.
檢查項目：Start-up conditions are not satisfied. (“Startfail” is displayed.)
啟動條件不滿足。 （顯示 “Startfail” 。）
Đi ề u kiện khởi đ ộng kh ô ng h à i l ò ng. ("Startfail" đ ược hiển thị.)
糾正措施：Satisfy all start-up conditions.
滿足所有啟動條件。
Đ á p ứng tất cả c á c đ i ề u kiện khởi đ ộng.
MP does not start when entering external “MP start” signal input.
使用 START 按鈕時 MP 不啟動。
MP kh ô ng bắt đ ầu khi á p dụng n ú t START.
EBARA ESA 系列
MP does not start when entering external “MP start” signal input.
使用 START 按鈕時 MP 不啟動。
MP kh ô ng bắt đ ầu khi á p dụng n ú t START.
檢查項目：Instrument failure
儀器故障
Lỗi c ô ng cụ
糾正措施：Replace instrument.
更換儀器。
Thay th ế nhạc cụ.
Reverse rotation
反轉
Xoay ngược
EBARA ESA 系列
Reverse rotation
反轉
Xoay ngược
檢查項目：Incorrect wiring
錯誤的接線
D â y kh ô ng ch í nh x á c
糾正措施：Check wiring.
檢查接線。
Kiểm tra hệ thống d â y đ iện.
Abnormal noise Excessive vibration
異常噪音過度振動
Ti ế ng ồn bất thường Rung đ ộng qu á mức
EBARA ESA 系列
Abnormal noise Excessive vibration
異常噪音過度振動
Ti ế ng ồn bất thường Rung đ ộng qu á mức
檢查項目：Adjustment feet are not applied.
調整腳不適用。
Ch â n đ i ề u chỉnh kh ô ng đ ược á p dụng.
糾正措施：Use the adjustment feet.
使用調整腳。
Sử dụng ch â n đ i ề u chỉnh.
Abnormal noise Excessive vibration
異常噪音過度振動
Ti ế ng ồn bất thường Rung đ ộng qu á mức
EBARA ESA 系列
Abnormal noise Excessive vibration
異常噪音過度振動
Ti ế ng ồn bất thường Rung đ ộng qu á mức
檢查項目：Some object is making contact with the outer cover.
有些物體正在與外殼接觸。
Một số đ ối tượng đ ang ti ế p x ú c với vỏ ngo à i.
糾正措施：Remove the object.
刪除物件。
X ó a đ ối tượng.
Abnormal noise Excessive vibration
異常噪音過度振動
Ti ế ng ồn bất thường Rung đ ộng qu á mức
EBARA ESA 系列
Abnormal noise Excessive vibration
異常噪音過度振動
Ti ế ng ồn bất thường Rung đ ộng qu á mức
檢查項目：The fastening screws of the outer corer have worked themselves loose.
外核的緊固螺絲鬆動了。
C á c ốc v í t gắn của corer b ê n ngo à i đ ã l à m việc lỏng lẻo.
糾正措施：Tighten the fastening screws.
擰緊緊固螺釘。
Vặn c á c v í t gắn chặt.
Abnormal noise Excessive vibration
異常噪音過度振動
Ti ế ng ồn bất thường Rung đ ộng qu á mức
EBARA ESA 系列
Abnormal noise Excessive vibration
異常噪音過度振動
Ti ế ng ồn bất thường Rung đ ộng qu á mức
檢查項目：Parts of the pump are damaged.
泵的部件損壞。
C á c bộ phận của m á y bơm bị hư hỏng.
糾正措施：Replace or overhaul pump.
更換或檢修泵。
Thay th ế hoặc bơm đ ại tu.
Vacuum pressure increase.
真空壓力增加。
Á p lực ch â n kh ô ng tăng l ê n.
EBARA ESA 系列
Vacuum pressure increase.
真空壓力增加。
Á p lực ch â n kh ô ng tăng l ê n.
檢查項目：Accumulation of by-products in pipes.
在管道中積累副產品。
T í ch lũy phụ phẩm trong đ ường ống.
糾正措施：Clean piping.
清潔管道。
L à m sạch đ ường ống.
Vacuum pressure increase.
真空壓力增加。
Á p lực ch â n kh ô ng tăng l ê n.
EBARA ESA 系列
Vacuum pressure increase.
真空壓力增加。
Á p lực ch â n kh ô ng tăng l ê n.
檢查項目：N 2 pressure setting is high.
N2 壓力設置很高。
N2 thi ế t lập á p lực cao.
糾正措施：Set pressure for correct value.
為正確的值設置壓力。
Đặt á p lực cho gi á trị ch í nh x á c.
Vacuum pressure increase.
真空壓力增加。
Á p lực ch â n kh ô ng tăng l ê n.
EBARA ESA 系列
Vacuum pressure increase.
真空壓力增加。
Á p lực ch â n kh ô ng tăng l ê n.
檢查項目：Leak from vacuum piping.
從真空管道洩漏。
R ò rỉ từ đ ường ống ch â n kh ô ng.
糾正措施：Check piping.
檢查管道。
Kiểm tra đ ường ống.
Vacuum pressure increase.
真空壓力增加。
Á p lực ch â n kh ô ng tăng l ê n.
EBARA ESA 系列
Vacuum pressure increase.
真空壓力增加。
Á p lực ch â n kh ô ng tăng l ê n.
檢查項目：Accumulation of by-products in pumps.
泵中副產物的積累。
T í ch lũy phụ phẩm trong m á y bơm.
糾正措施：Replace or overhaul pump.
更換或檢修泵。
Thay th ế hoặc bơm đ ại tu.
**MEMORY ERROR** is displayed on LCD changing the dip switch setting
LCD 上顯示 ** MEMORY ERROR ** ，改變 DIP 開關設置
** ERROR MEMORY ** đ ược hiển thị tr ê n m à n h ì nh LCD thay đ ổi c à i đ ặt c ô ng tắc nh ú ng
EBARA ESA 系列
**MEMORY ERROR** is displayed on LCD changing the dip switch setting
LCD 上顯示 ** MEMORY ERROR ** ，改變 DIP 開關設置
** ERROR MEMORY ** đ ược hiển thị tr ê n m à n h ì nh LCD thay đ ổi c à i đ ặt c ô ng tắc nh ú ng
檢查項目：None
沒有
kh ô ng ai
糾正措施：Need “Countermeasure against electric Noise” to pump.
需要 “ 電噪聲對策 ” 來抽水。
Cần “ Chống lại ti ế ng ồn đ iện ” đ ể bơm.
**WATCH DOG TIMER
** 觀看狗定時器
** XEM DOG TIM
EBARA ESA 系列
**WATCH DOG TIMER
** 觀看狗定時器
** XEM DOG TIM
檢查項目：None
沒有
không ai
糾正措施：Need “Countermeasure against electric Noise” to pump.
需要 “ 電噪聲對策 ” 來抽水。
Cần “Chống lại ti ế ng ồn điện” để bơm.
ERROR** is displayed on LCD.
LCD 上顯示錯誤 ** 。
ERROR ** đ ược hiển thị tr ê n m à n h ì nh LCD.
EBARA ESA 系列
ERROR** is displayed on LCD.
LCD 上顯示錯誤 ** 。
ERROR ** đ ược hiển thị tr ê n m à n h ì nh LCD.
檢查項目：None
沒有
không ai
糾正措施：Need “Countermeasure against electric Noise” to pump.
需要 “ 電噪聲對策 ” 來抽水。
Cần “Chống lại ti ế ng ồn điện” để bơm.
WARNING 101
EDWARDS iH 系列
(a) there is a fault in the Control SMA, or (b) the emergency stop button has been pressed to shut down the iH system, or (c) there has been a transient electrical supply failure (longer than the hold-up time of the iH power supply).
（ a ）控制 SMA 中有故障，或（ b ）緊急停止按鈕已被按下以關閉 iH 系統，或（ c ）出現瞬時電力供應故障（長於維持時間 的 iH 電源）。
(a) c ó lỗi trong SMA đ i ề u khiển, hoặc (b) n ú t dừng khẩn cấp đ ã đ ược nhấn đ ể tắt hệ thống iH, hoặc (c) đ ã c ó sự cố cung cấp đ iện tạm thời (d à i hơn thời gian giữ nguồn đ iện iH).
WARNING 113
EDWARDS iH 系列
There is a fault in the ADC (analogue-to-digital convertor) in the Control SMA; the Control SMA must be replaced.
控制 SMA 中的 ADC （模擬 - 數字轉換器）存在故障 ; 必須更換控制 SMA 。
C ó một lỗi trong ADC (analog-to-kỹ thuật số chuyển đ ổi) trong Control SMA; c á c SMA kiểm so á t phải đ ược thay th ế .
WARNING 209
EDWARDS iH 系列
SEE MANUAL
The electrical supply voltage is too low. Check the electrical supply and the connections to the iH system and rectify as necessary.
電源電壓太低。 檢查電源和 iH 系統的連接，並根據需要進行糾正。
Điện á p cung cấp đ iện qu á thấp. Kiểm tra nguồn cung cấp đ iện v à c á c k ế t nối với hệ thống iH v à sửa chữa n ế u cần.
WARNING 211
EDWARDS iH 系列
SEE MANUAL
The electrical supply voltage is too high. Check the electrical supply and the connections to the iH system and rectify as necessary.
電源電壓太高。 檢查電源和 iH 系統的連接，並根據需要進行糾正。
Điện á p cung cấp đ iện qu á cao. Kiểm tra nguồn cung cấp đ iện v à c á c k ế t nối với hệ thống iH v à sửa chữa n ế u cần.