WARNING 3511 AUX FLOW HIGH
EDWARDS iQDP 系列
ADJUST REGULATOR REDUCE PRESSURE
Refer to the recommended actions for error number 4011 in this table.
請參閱本表中錯誤編號4011的建議措施。
Tham khảo các hành động được đề xuất cho lỗi số 4011 trong bảng này.
WARNING 3511 AUX FLOW HIGH
EDWARDS iQDP 系列
2/3 I/STAGE HIGH CHECK RESTRICTOR
The 2/3-interstage purge flow rate is too high. Check that the purge restrictor is fitted correctly and is of the correct size. The variable restrictor may be used to reduce this flow rate.
2/3級間淨化流量過高。 檢查清洗限流器是否安裝正確，尺寸是否正確。 可變限流器可以用於減小該流量。
Tốc độ dòng chảy của 2/3-interstage là quá cao. Kiểm tra rằng bộ khống chế thanh lọc được lắp đúng và có kích thước chính xác không. Biến tần có thể được sử dụng để giảm tốc độ dòng chảy này.
WARNING 3511 AUX FLOW HIGH
EDWARDS iQDP 系列
EXH PURGE HIGH CHECK RESTRICTOR
The exhaust-purge flow rate is too high. Check that the purge restrictor is fitted correctly and is the correct size.
排氣流量過高。 檢查清洗限流器是否安裝正確，尺寸是否正確。
Tốc độ dòng khí thải quá cao. Kiểm tra rằng bộ khống chế thanh lọc được lắp đúng và có đúng kích cỡ không.
WARNING 3511 AUX FLOW HIGH
EDWARDS iQDP 系列
INLET PURGE HIGH CHECK RESTRICTOR
The inlet-purge flow rate is too high. Check that the purge restrictor is fitted correctly and is the correct size.
進口 - 吹掃流量過高。 檢查清洗限流器是否安裝正確，尺寸是否正確。
Tốc độ dòng chảy đầu vào là quá cao. Kiểm tra rằng bộ khống chế thanh lọc được lắp đúng và có đúng kích cỡ không.
WARNING 3512 AUX FLOW
EDWARDS iQDP 系列
FLOW HIGH
CHECK Gas Module
Refer to the recommended actions for error number 3511 in this table.
請參閱本表中錯誤編號3511的建議措施。
Tham khảo các hành động được đề xuất cho lỗi số 3511 trong bảng này.
WARNING 3513
EDWARDS iQDP 系列
The auxiliary flow sensor is not fitted, or is disconnected or has failed. Check and rectify as necessary.
輔助流量傳感器未安裝，或者斷開連接或發生故障。 必要時檢查並糾正。
Cảm biến lưu lượng phụ không được lắp, hoặc bị ngắt kết nối hoặc bị hỏng. Kiểm tra và sửa chữa khi cần thiết.
WARNING 3911 EXHAUST PRESSURE
EDWARDS iQDP 系列
EXHAUST BLOCKED SERVICE PUMP
The pressure in the exhaust pipeline is too high. There may be process debris or condensation in the exhaust pipeline, purge line, or restrictor, or a valve in the pipeline may be shut. You may have too many pumping systems connected to the exhaust pipeline.
排氣管道中的壓力太高。 排氣管道，吹掃管路或限流器中可能存在過程碎屑或冷凝物，或者管路中的閥門可能會關閉。 您可能有太多抽氣系統連接到排氣管道。
Áp lực trong đường ống xả quá cao. Có thể có các mảnh vụn hoặc quá trình ngưng tụ trong đường ống xả, đường lọc, hoặc bộ khống chế hoặc van trong đường ống có thể bị đóng. Bạn có thể có quá nhiều hệ thống bơm kết nối với đường ống xả.
WARNING 3911 EXHAUST PRESSURE
EDWARDS iQDP 系列
EXH PURGE HIGH CHECK RESTRICTOR
The exhaust-purge flow rate is too high. Check that the purge restrictor is fitted correctly and is the correct size.
排氣流量過高。 檢查清洗限流器是否安裝正確，尺寸是否正確。
Tốc độ dòng khí thải quá cao. Kiểm tra rằng bộ khống chế thanh lọc được lắp đúng và có đúng kích cỡ không.
WARNING 3913
EDWARDS iQDP 系列
The exhaust pressure transducer is not fitted, or is disconnected or has failed. Check and rectify as necessary.
排氣壓力傳感器未安裝，或已斷開連接或發生故障。 必要時檢查並糾正。
Bộ chuyển đổi áp suất khí thải không được lắp hoặc bị ngắt kết nối hoặc bị hỏng. Kiểm tra và sửa chữa khi cần thiết.
WARNING 4009 SS PURGE LOW
EDWARDS iQDP 系列
ADJUST REGULATOR INCREASE PRESSURE
The shaft-seals purge pressure is too low. Check that the nitrogen supply is as specified in Section 2 and that you have correctly adjusted the pressure: refer to Section 3.22. If you cannot correctly adjust the pressure, the regulator may be faulty.
軸封清洗壓力太低。 檢查氮氣供應是否符合第2部分的規定，並且您已經正確調整了壓力：參見第3.22節。 如果您無法正確調整壓力，則調節器可能有故障。
Áp suất làm sạch trục con dấu quá thấp. Kiểm tra xem nguồn cung cấp nitơ có được chỉ định trong Phần 2 và bạn đã điều chỉnh áp suất chính xác hay không: tham khảo Mục 3.22. Nếu bạn không thể điều chỉnh áp suất một cách chính xác, bộ điều chỉnh có thể bị lỗi.
WARNING 4010 SS PURGE LOW
EDWARDS iQDP 系列
ADJUST REGULATOR INCREASE PRESSURE
Refer to the recommended actions for error number 4009 in this table.
請參閱本表中錯誤號為4009的建議操作。
Tham khảo các hành động được đề xuất cho lỗi số 4009 trong bảng này.
WARNING 4010 SS PURGE LOW
EDWARDS iQDP 系列
N2 SUPPLY OFF
The nitrogen supply is switched off or below the pressure specified in Section 2. Check and rectify as necessary.
氮氣供應關閉或低於第2部分規定的壓力。檢查並根據需要進行糾正。
Nguồn cung cấp nitơ được tắt hoặc dưới áp suất được chỉ định trong Mục 2. Kiểm tra và khắc phục khi cần thiết.
WARNING 4011 SS PURGE HIGH
EDWARDS iQDP 系列
PRESSURE HIGH CHECK GAS MODULE
The shaft-seals purge pressure is too high. Check that you have correctly adjusted the pressure: refer to Section 3.22. If you cannot correctly adjust the pressure, the regulator may be faulty.
軸封清洗壓力過高。 檢查您是否正確調整了壓力：參閱第3.22節。 如果您無法正確調整壓力，則調節器可能有故障。
Áp suất làm sạch trục con dấu quá cao. Kiểm tra xem bạn đã điều chỉnh đúng áp suất chưa: tham khảo Mục 3.22. Nếu bạn không thể điều chỉnh áp suất một cách chính xác, bộ điều chỉnh có thể bị lỗi.
WARNING 4012 SS PURGE HIGH
EDWARDS iQDP 系列
ADJUST REGULATOR REDUCE PRESSURE
Refer to the recommended actions for error number 4011 in this table.
請參閱本表中錯誤編號4011的建議措施。
Tham khảo các hành động được đề xuất cho lỗi số 4011 trong bảng này.
WARNING 4012 SS PURGE HIGH
EDWARDS iQDP 系列
HIGH INLET PRESS N2 FLOW MAY DROP
The iQ system has been running for an extended period with a higher than normal inlet pressure. This may affect the nitrogen pressure but it should return to normal when the inlet pressure is reduced.
iQ系統長時間運行並且入口壓力高於正常值。 這可能會影響氮氣壓力，但當入口壓力降低時它應該恢復正常。
Hệ thống iQ đã hoạt động trong một thời gian dài với áp suất đầu vào cao hơn bình thường. Điều này có thể ảnh hưởng đến áp suất nitơ nhưng nó sẽ trở lại bình thường khi áp suất đầu vào giảm.
WARNING 4013
EDWARDS iQDP 系列
The shaft-seals pressure transducer is not fitted, or is disconnected or has failed. Check and rectify as necessary.
軸封壓力傳感器未安裝，或已斷開連接或發生故障。 必要時檢查並糾正。
Bộ chuyển đổi áp suất trục không được lắp, hoặc bị ngắt kết nối hoặc bị hỏng. Kiểm tra và sửa chữa khi cần thiết.
WARNING 5101
EDWARDS iQDP 系列
The Sensor Monitoring Module may be disconnected. If the wiring connections are correct, the PCA may be faulty.
傳感器監測模塊可能斷開。 如果接線連接正確，PCA可能有故障。
Mô-đun giám sát cảm biến có thể bị ngắt kết nối. Nếu các kết nối đấu dây chính xác, PCA có thể bị lỗi.
WARNING 5113
EDWARDS iQDP 系列
There is a fault in the ADC (analogue-to- digital convertor) in the Sensor Monitoring Module; the ADC must be replaced.
傳感器監控模塊中的ADC（模擬 - 數字轉換器）存在故障; 必須更換ADC。
Có lỗi trong bộ chuyển đổi tín hiệu tương tự (ADC) trong Mô-đun giám sát cảm biến; ADC phải được thay thế.
WARNING 5411 QMB MOTOR TEMP
EDWARDS iQDP 系列
CHECK COOLING WATER SUPPLY
Check that the cooling-water supply is correctly connected and is switched on. Check that there is no blockage in the cooling-water supply pipeline or the pump cooling system.
檢查冷卻水供應是否已正確連接並已打開。 檢查冷卻水供應管道或泵冷卻系統是否有堵塞。
Kiểm tra xem nguồn cấp nước làm mát có được kết nối đúng cách và được bật hay không. Kiểm tra rằng không có tắc nghẽn trong đường ống cấp nước làm mát hoặc hệ thống làm mát máy bơm.
WARNING 5411 QMB MOTOR TEMP
EDWARDS iQDP 系列
MOTOR WATER LOW CHECK FILTER
The filter in the TCV manifold may be blocked with debris. Check the filter and clean as necessary.
TCV歧管中的過濾器可能被碎屑堵塞。 檢查過濾器並根據需要進行清潔。
Bộ lọc trong đa tạp TCV có thể bị chặn với các mảnh vụn. Kiểm tra bộ lọc và làm sạch khi cần thiết.